KEITHLEY吉時利4200-SCS型半導體特征分析系統

keithley吉時利4200-SCS的I-V特性測量：

keithley吉時利4200-SCS系統實現I-V測量功能的核心單元是SMU (源測量單元) ;

SMU集4種功能于- -體:電壓源、電壓表、電流源、電流表;

可以向器件提供驅動電壓同時測量電流，也可以向器件提供電流并測量電壓;

圖形化的KITE軟件可以輕松地設定測試條件，設定電壓或電流，被測點數，保護電壓或電流值，完成各種I-V參數測試;

SM的數量與被測器件的端口數有關，原則上有幾個端口，就要配幾個SMU。

一般來說，keithley吉時利4200-SCS系統的最基本的組成部分就是I-V部分，I-V測 試是最基本，最核心的測試內容，C-V測試，乃至脈沖I-V的測試都是其擴展部分，根據用戶的經費情況和研究的器件類型。來對這個系統進行配置。

吉時利4200-SCS型半導體特征分析系統主要特點及優點：

●直觀的、點擊式Windows操作環境

●獨特的遠端前置放大器，將SMU的分辨率擴展至0.1fA

●用于高級半導體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能

●集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡

●內置PC提供快速的測試設置、強大的數據分析、制圖與打印、以及測試結果的大容量存儲

●獨特的瀏覽器風格的軟件界面，根據器件的類型來安排測試，可以執行多項測試并提供測試序列與循環控制功能

●內置了Stress/Measure，循環和數據分析功能，通過鼠標點擊方式就可進行可靠性測試，包括5個JEDEC規范的樣品測試

●支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈沖發生器等多種外圍設備

●硬件由keithley交互式測試環境（KITE）來控制，用戶測試模塊功能，可用于外接儀表控制與測試平臺集成，是KITE功能的擴充

●包括驅動軟件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自動和手動探針臺

●支持先進的半導體模型參數提取，包 括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

keithley吉時利4200-SCS型半導體特性分析系統用于實驗室級的器件直流參數測試、實時繪圖與分析，具有高精度和亞fA級的分辨率。keithley吉時利4200-SCS提供了最先進的系統集成能力，包括完整的嵌入式PC機，WindowsNT操作系統與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數據的過程，這樣用戶可以更快地開始分析測試結果。

KEITHLEY吉時利4200-SCS 相關應用：

●半導體器件

●片上參數測試

●晶圓級可靠性

●封裝器件的特性分析

●使用Model4200-SCS控制外部LCR表進行C-V、I-V特性分析

●高K柵電荷俘獲

●易受自加熱效應影響的器件和材料的等溫測試

●電荷泵方法分析MOSFET器件的界面態密度

●電阻式或電容式MEMS驅動特性分析

●光電器件

●半導體激光二極管DC/CW特性分析

●收發模塊DC/CW特性分析

●PIN和APD特性分析

●科技開發

·碳納米管特性分析

●材料研究

●電化學